[发明专利]用于可转动磁控管的密封套

摘要

在一可转动磁控管中，一个具有整体结合在其内的真空密封装置的密封套在磁控管支承组件的密封外壳和一个装在其内的芯管之间提供一密封装置。该密封套可相对于该磁控管支承组件轴向移动。这可使其从该组件上快速地拆卸和更换。由于套的这种拆卸和更换自动地完成整体的真空装置的拆卸和更换，故不需要对真空密封装置进行处理或重新装配。本发明的密封套提供了一种受保护的密封装置设计，该设计改善了可转动磁控管中的密封整体性。

主权项

1.一种可转动磁控管设备，该设备包括：一个具有第一和第二靶端的圆筒形靶，其可绕其纵向轴线转动；至少一个用于在其内携持一个芯管的支承结构，所述一个支承结构在其内具有一个轴承面；所述芯管可以啮合所述第一和第二靶端中的一个，并且沿其一部分具有一个环形外壳面；和一个整体的密封套，该密封套具有外、内壳层、一个在外、内壳层之间的环形空间，和一个轴承及至少一个设置在该环形空间内的真空密封装置，所述外壳层设置在毗邻所述支承结构的轴承面处并相对于其转动固定住，所述内壳层环绕着所述芯管的该环形外表面并相对于其转动地固定住。