[发明专利]电磁力驱动振膜真空规无效
| 申请号： | 95110915.4 | 申请日： | 1995-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN1127885A | 公开（公告）日： | 1996-07-31 |
| 发明（设计）人： | 毛福明 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 东南大学专利事务所 | 代理人： | 楼高潮,何业华 |
| 地址： | 210018*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 电磁力驱动振膜真空规适用于粗真空和低真空测量，其量程可宽于10-2帕～1个大气压，由振膜、驱动装置和测量装置组成，驱动装置和测量装置可共用一组或独立的2组磁极和线圈构成，振膜可采用单膜或多膜结构，线圈与振膜为刚性连接，磁极可安装在振膜的固定架上，具有制造工艺简单、性能一致性好、测量范围宽和制造成本低等特点，有利于生产和推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 磁力 驱动 真空 | ||
【主权项】：
1、一种用于粗真空和低真空测量的电磁力驱动振膜真空规，由振膜，驱动装置和测量装置组成，其特征在于驱动装置和测量装置采用一组共用的磁极和线圈，振膜和线圈采用刚性连接，磁极与振膜的固定架相连接。
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