[发明专利]集成电路处理装置的器件传送装置和器件再检查方法无效
申请号: | 95117239.5 | 申请日: | 1995-09-26 |
公开(公告)号: | CN1152754A | 公开(公告)日: | 1997-06-25 |
发明(设计)人: | 中村浩人;小林义仁 | 申请(专利权)人: | 株式会社爱德万测试 |
主分类号: | G06K19/00 | 分类号: | G06K19/00 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 马浩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种可以连同使用托盘形盒或杆状盒的IC传送系统器件的再检查方法。为此,托盘供给部分把用户托盘(170)传送到试验托盘(180),而盒供给部分(152)和选择运送部分(112)把杆状盒(150)传送给试验托盘。再检验设定步骤设定再检查数量,检验结果分类,以及存储托盘/盒。DUT从盒被装到试验托盘中并被进行试验。在试验之后,进行关于再检验方式是否有效的判断。 | ||
搜索关键词: | 集成电路 处理 装置 器件 传送 检查 方法 | ||
【主权项】:
1.一种用于IC处理装置的器件传送装置,它把要被传送的器件从一个用户侧的器件存储容器供给到所述IC处理装置内部的一个传送试验托盘(180),包括:一个供给托盘传送机构(174)和一个托盘转换传送机构(175),用来把一个用户托盘(170)传送到一个托盘转换部分(173)并把器件传送给试验托盘(180),其作为第一器件供给侧;一个选择运送部分(112),用来把器件从一个传送一个杆状盒(150)的供给盒传送机构(154)传送到一个试验托盘传送部分(114),其作为第二器件供给侧;所述试验托盘传送部分(114)用来把器件从所述选择运送部分(112)传送到一个托盘转换部分(173),并然后传送到试验托盘(180);其特征在于,所述器件传送装置可以适用于托盘形盒和杆状盒的容器构形。
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