[发明专利]磁性管溅射装置无效
| 申请号： | 95119064.4 | 申请日： | 1995-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN1133350A | 公开（公告）日： | 1996-10-16 |
| 发明（设计）人： | 横山政秀;早田博;森诚一郎;末光敏行;大野锐二 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 沈昭坤 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明揭示一种磁控管溅射装置，它在同一中心轴(1)的周围配设多块直径不同的环状平板靶(2、3)；在各靶(2、3)中，沿其内周缘部位置的表侧和里侧分别配设具有相同极性的磁铁(21、22、23、24)，沿其外周缘部位置的表侧和里侧分别配置具有相同极性的磁铁(23、24、25、26)，并配设成使内周侧与外周侧极性相反。具有不产生靶局部侵蚀的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 磁性 溅射 装置 | ||
【主权项】：
1.一种磁控管溅射装置，其特征在于，在同一中心轴周围设置多块直径不同的环状平板靶；各靶中，在沿其内周缘部位置的表侧和里侧分别配置具有相同极性的磁铁，在其沿外周缘部位置的表侧和里侧分别配置具有相同极性的磁铁，并配设成使内周侧与外周侧极性相反。
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