[发明专利]射频化学气相沉积法合成β－C3N4超硬薄膜材料

摘要

本发明公开了一种新的射频化学气相沉积法合成β-C3N4超硬薄膜材料的方法。它是采用乙炔气和氮气为气源，采用ＲＦ－ＣＶＤ方法合成超硬材料、晶体氮化碳薄膜，具有较高的显微硬度、耐腐蚀和耐氧化性能，是一高效、低成本合成优质氮化碳薄膜的方法，可以在各种材料、各种形状工件、较大尺寸工件上形成氮化碳薄膜。

主权项

1.一种用射频化学气相沉积法合成氮化碳超硬薄膜材料的方法，它是在真空室中充入乙炔和氮气，通过射频电场的作用，在工件表面合成氮化碳超硬薄膜，其特征在于：在氮化碳薄膜和工件表面间先沉积了一层过渡层。