[发明专利]带真空泵的检漏器及其工作方法无效
| 申请号： | 95120249.9 | 申请日： | 1995-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN1088516C | 公开（公告）日： | 2002-07-31 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·伯姆 | 申请（专利权）人： | 莱波尔德股份公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 刘志平 |
| 地址： | 联邦德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种检漏器，它有一个设计为阻尼真空泵(11)的高真空泵和两个另外的针对大气压力工作的真空泵(21、31)，为避免在试样(42)所在区内和/或检测腔(43)内碳氦化合物污染，建议将两个另外的真空泵(21、31)设计为干式密封真空泵。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 检漏 及其 工作 方法 | ||
【主权项】：
1.带有一个设计为阻尼真空泵(11)的高真空泵和两个另外的针对大气压力工作的真空泵(21、31)的检漏器，其中该两个针对大气压力工作的真空泵中的第一个真空泵(21)与阻尼真空泵(11)的一个初真空接头(27)相连，而第二个针对大气压力工作的真空泵(31)经由一个带阀(29)的导管(28)直接与检漏器入口(1)连接，此外所述的两个真空泵(21、31)的进口侧通过一个导管(37)相互连接，所述的导管配备有一个调节阀(40)，其特征为：这两个另外的真空泵(21、31)设计为干式密封真空泵。
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