[发明专利]具有至少一个应力释放端部的压电/电致伸缩膜元件

摘要

一种压电与/或电致伸缩膜元件，包括陶瓷基片2，基片上的压电单元18，且包括在下、上电极12，16间的压电层14。基片有窗口6，由膜部10封闭。单元置于膜部上，其至少一个相对端在向膜部中心的方向上和窗口的边缘分开。与窗口边缘分开的膜部的端部向上凸或向下凹，从而提供应力释放部分，用来将应力转换成膜部的位移。还披露了通过烧结基片膜部上的未烧结的压电/电致伸缩层，形成应力释放部分的方法。

主权项

1.一种压电/电致伸缩膜元件，包括：陶瓷基片(2，22)，它包括具有至少一个窗口(6，38)的基部(4，30)，以及作为所述基部的一个整体部分形成的并封闭每个所述至少一个窗口的膜部(10，26)；膜状的压电/电致伸缩单元(18，24)，它包括下电极(12，40)，压电/电致伸缩层(14，42)和上电极(16，14)，它们按所说明的顺序利用膜形成方法形成在所述膜部的外表面上；所述压电/电致伸缩单元(18，24)被如此置于所述膜部上，使得所述压电/电致伸缩单元的相对端面中的至少一个和所述每个窗口的周边的相对部分中的相应的一个朝向所述膜部的中心的方向分开；应力释放部分(20)，由所述膜部的相对端部中的至少一个构成，它位于所述压电/电致伸缩单元的相对端面中的所述至少一个端面和相应的所述每个窗口的周边的相对部分中的至少一个之间，所述应力释放部分相对于包括所述基部(4，30)主表面的平面被弯曲，在所述基部上的所述每个窗口被所述膜部封闭。