[发明专利]以最小的污染和颗粒分配超高纯度气体的方法无效
| 申请号： | 95121731.3 | 申请日： | 1995-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN1131587A | 公开（公告）日： | 1996-09-25 |
| 发明（设计）人： | T·苏卡默托;N·凡扎特;J·M·弗里德特 | 申请（专利权）人： | 乔治·克劳德方法的研究开发空气股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/06 | 分类号： | B08B9/06;B08B3/04 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 张闽 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种污染和颗粒达到最低的分配超高纯度气体的方法，包括(a)用杂质含量低于1ppm的干燥的高纯度惰性气体清洗上述分配网或其任何部分；(b)在低于5×104帕斯卡的压力下抽空上述分配网或其任何部分；(b′)可选地用湿洗剂湿洗气体分配网或其任何部分，然后(c)用水脱附液体干燥剂液体干燥气体分配网或其任何部分，干燥剂选自丙酮二甲基酮缩醛DMP，2-2二氯丙烷DCP或2-2二溴丙烷DBP，其混合物和其任何等效物，以及(d)通过气体分配网或其任何部分分配超高纯度气体。 | ||
| 搜索关键词： | 最小 污染 颗粒 分配 超高 纯度 气体 方法 | ||
【主权项】：
1.在气体分配网中以最小污染与最少颗粒分配超高纯度气体的方法，它包括(a)用杂质含量低于1ppm的高纯度干燥惰性气体清洗上述分配网或其任何部分，(b)在低于5×104帕斯卡的压力下抽空上述分配网或其任何部分；(c)用水脱附液体干燥剂液体干燥气体分配网或其任何部分，所述干燥剂选自丙酮二甲基酮缩醛DMP、2-2二氯丙烷DCP或2-2二溴丙烷DBP、其混合物或其任何等效物；(d)通过分配网或其任何部分分配超高纯度气体。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于乔治·克劳德方法的研究开发空气股份有限公司，未经乔治·克劳德方法的研究开发空气股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/95121731.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：多相多极步进电动机
- 下一篇：新式防蚊驱蚊制品制作方法
