[发明专利]正性光敏组合物

摘要

本发明提供一种光敏剂，它包括结构作为骨架的重氮酯，式中X＝Cl，Br，I，OH，OR，COOR，COOAr(OH)n，COAr(OH)n，COR，R，Ar(OH)n，R＝C1-C8烷基，n＝0到5，Ar＝苯基，其中在苯环上的羟基中至少有一个已经用包括60到100％(摩尔)2，1，4-或2，1，5-重氮磺酰氯或是它们的混合物的重氮磺酰氯酯化；本发明还提供一种光致抗蚀剂，它包括由该光敏剂、一种非水溶性但溶于碱性水溶液的线型酚醛树脂和一种适当溶剂组成的混合物，在光致抗蚀剂组合物中，该光敏剂含量应足以使光致抗蚀剂组合物均匀感光敏化，线型酚醛树脂的含量应足以形成基本均匀的光致抗蚀剂组合物。$#!

主权项

1.一种正性光致抗蚀剂组合物，包括下列组分的混合物：a)一种光敏剂，包括一种有下列结构作为骨架的重氮酯：X＝Cl，Br，I，OH，OR，COOR，COOAr(OH)n，COAr(OH)n，COR，R，Ar(OH)nR＝C1-C8烷基，n＝0到5，Ar＝苯基其中重氮酯是一种在苯环上的羟基中至少有一个已经用一种包括60到100摩尔％2，1，4-或2，1，5-重氮磺酰氯或是它们的混合物的重氮磺酰氯酯化的化合物，在光致抗蚀剂组合物中光敏剂的含量为无溶剂组合物的1到35重量％；b)一种非水溶性但可溶于碱性水溶液的线型酚醛树脂，在光致抗蚀剂组合物中线型酚醛树脂的含量为无溶剂组合物量的65到99重量％；和c)一种溶剂，所述溶剂的用量至多为组合物中无溶剂的固体重量的95％。