[发明专利]压力梯度化学蒸汽渗透和沉积的设备及工艺和制品无效
申请号: | 95196969.2 | 申请日: | 1995-11-16 |
公开(公告)号: | CN1171137A | 公开(公告)日: | 1998-01-21 |
发明(设计)人: | M·J·普迪;J·W·鲁多尔夫;L·D·伯克 | 申请(专利权)人: | B·F·谷德里奇公司 |
主分类号: | C23C16/04 | 分类号: | C23C16/04;C23C16/52;C23C16/44;C04B35/83 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 陈季壮 |
地址: | 美国俄*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及用化学蒸汽渗透和在一个多孔架内沉积一种粘结材料的方法以制造高温复合材料的领域。更详细地,本发明涉及强制一个反应气体渗透进一个多孔骨架内的压力梯度工艺,实施此工艺的设备以及其最终制品。本发明特别适合于大量(数百件)飞机制动板的同时CVI/CVD工艺过程。 | ||
搜索关键词: | 压力梯度 化学 蒸汽 渗透 沉积 设备 工艺 制品 | ||
【主权项】:
1.一种CVI/CVD工艺,包括以下步骤:以一个压力梯度CVI/CVD工艺在一个CVI/CVD炉内通过在一个多孔骨架内沉积一次粘结材料使上述多孔骨架部分致密,在此过程中上述多孔骨架的第一部分受到一个大于此多孔骨架第二部分的压力,并且上述第一部分比上述第二部分有一个较大的容积密度增加;以及通过至少一个辅助致密工艺,在上述多孔骨架内沉积二次粘结材料而使上述多孔骨架继续致密,其中,上述第二部分比上述第一部分有一个较大的容积密度增加。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的