[实用新型]一种微型固态库仑滴定传感器

摘要

本实用新型涉及一种微型固态库仑滴定传感器，该传感器是微电子技术与电化学分析相结合而形成的一种固态化学传感器，用于酸性、碱性溶液的库仑滴定分析。该传感器是在分析库仑滴定测量原理及其各类滴定系统的基础上，将库仑滴定装置中的电解电极、参比电极、滴定终点指示器件及库仑池等集成于一体的器件。其库仑池容积小于数微升，且含有样液注入孔及汲取孔，管芯尺寸为6.4×7.4mm2，封装后的器件尺寸为14×16×8mm3。该传感器中的指示器件采用的是氢离子敏场效应晶体管，具有指示灵敏、准确、易于与后电路连接等优点，把它用于库仑滴定测量系统中，数秒至数十秒即可完成一次滴定测量，冲洗后可重复使用。

主权项

1、一种微型固态库仑滴定传感器，主要由工作芯片[7]和硅上盖板[8]组成，其特征在于：在工作芯片[7]上制作了氢离子敏场应效管[1]和[2]，及工作电极[4]、辅助电极[5]和[29]伪参比电极[3]、工作电极[4]紧包围氢离子敏场应管[1]的敏感膜[18]，工作电极[4]内侧距敏感膜[18]外缘2nm，一对辅助电极[5]和[29]对称分布于工作电极[4]两侧，[4]与[5]及[29]相距14nm，伪参比电极[3]包围氢离子敏场效应管[2]，两者形成复合参比管。氢离子敏场效应管[2]与辅助电极[5]平行，相距32nm，氢离子敏场效应管[2]距工作芯片[7]左侧边缘225nm，氢离子敏场效应管[1]距工作芯片[7]右侧边缘268nm，对准标志[11]距工作芯片[7]外侧边缘分别为20nm和165nm；硅上盖板[8]上有一长方形浅槽[28]和双通孔[9]、[10]，硅上盖板[8]与工作芯片[7]贴合后，方形浅槽[28]将形成库仑池[6]。