[实用新型]一种三室结构的真空液态源

摘要

本实用新型涉及一种“三室结构”的真空液态源，其特征在于它包括注入口、外室、手动阀、标准室、内室、加热筒、加热块、密封圈、异形过渡件。本装置能将空气与真空有效隔离，标准室同时起到了量具和加速冷却的作用。内室能提供一个有效的液、汽相平衡区，最大限度地保持蒸发面积不变，提供稳定的液态物质束流，并大量节约了液态物质。本装置与外部设备采用钢性材料连接。本装置装拆、维修方便。

主权项

1.本实用新型涉及一种三室结构的真空液态源，它包括内电组件[7]、外电组件[8]，其特征在于：a.注入口[1]的一端和外室[2]的一端焊接，外室[2]的另一端与手动阀[3]的一端焊接，手动阀[3]的另一端与标准室[4]的一端焊接，标准室[4]的另一端与手动阀[6]的一端焊接，手动阀[6]的另一端与内室[5]的一端焊接，内室[5]的外表面上侧开孔处与异形过渡件[14]的一端焊接，异形过渡件[14]的另一端与阀门[12]的一端焊接，阀门[12]的另一端与非标准刀口小法兰[15]焊接，b.外室[2]、标准室[4]、内室[5]在一条轴线上，该轴线与重力方向平行，并且该轴线与蒸汽发射器[10]的轴线保持非垂直状态，即非90℃配置，小于90℃，c.非标准刀口小法兰[15]的一端与蒸汽发射器[10]的非标准刀口小法兰的一端连接，在它们之间装有一个非标准的小型镍或铜的金属材料制成的密封圈[13]，d.加热块[9]由面对称的两块组成，加热块[9]的内部形状与内室[5]、手动阀[6]、部分的标准室[4]的外形相同，内室[5]、手动阀[6]、部分的标准室[4]精确嵌入加热块[9]内，对称的两块由螺钉连接。