[实用新型]一种测试少子寿命的装置

摘要

本实用新型提供了一种测试少子寿命的装置，是采用光纤传输与微波耦合的在低温条件下同时可进行接触式或非接触式测试半导体少子寿命，被测样品被放在杜瓦内的光与微波的交会处，光源采用砷化镓发光二极管，经光学透镜会聚到光纤传输到样品上，微波源采用耿氏振荡器发出8毫米波，通过隔离器、衰减器、环行器、喇叭天线辐射到杜瓦瓶中的样品上，然后被样品反射经原路回到环行器，带有少子寿命信息的微波反射功率被检波器检测出来。

主权项

1.一种测试少子寿命的装置，包括光源(6)、微波源(7)、微波接收器和低温杜瓦瓶(2)，其特征在于：a.杜瓦瓶(2)内具有供安装待测样品的样品架(201)，在样品架(201)的前方置有窗口座(203)，在窗口座(203)上装有供微波透入的窗口(204)，窗口座(203)的一侧装有供安装光纤的光纤座(3)，在窗口座(203)的另一侧设有观察窗口(205)，在窗口座(203)与杜瓦瓶(2)本体接口间衬有密封环(202)，杜瓦瓶(2)还具有多元探测的接线头；b.光源(6)采用砷化镓发光二极管，经光学透镜组(5)会聚到光纤(4)，光纤(4)通过光纤座(3)进入杜瓦瓶(2)内，将光传输到样品(1)上；c.微波源(7)采用耿氏振荡器，紧接微波源(7)顺次配置供传输微波的隔离器(8)、衰减器(9)和环行器(10)，紧接环行器(10)一路配置喇叭天线(12)，以供微波由喇叭天线(12)辐射，经过窗口(204)到达样品(1)上，紧接环行器(10)另一路配置供检测微波反射功率的检波器(11)。