[发明专利]质量气流传感器及其所用的测量器无效
| 申请号： | 96100286.7 | 申请日： | 1996-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN1155653A | 公开（公告）日： | 1997-07-30 |
| 发明（设计）人： | 山田雅通;河山薰;渡边泉;矶野忠;中右利彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立制作所;(株)日立汽车工程 |
| 主分类号： | G01F1/68 | 分类号： | G01F1/68 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 陈申贤 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种形成在一基片上，用来测量一目标流体的流动速率的质量气流传感器的测量器，包括一对并列在该目标流体的流动方向上且形成在该基片上的一薄膜受热电阻形成部分的薄膜受热电阻、一对形成在该基片上的一薄膜环境温度传感电阻形成部分的薄膜非受热环境温度传感电阻以及若干形成在支撑该基片的一支撑部上的薄膜电极接头，该支撑部与该受热电阻薄膜形成部分和薄膜环境温度传感电阻形成部分隔离，这些电极接头用来从该受热电阻和非受热环境温度传感电阻取出电信号。 | ||
| 搜索关键词： | 质量 气流 传感器 及其 所用 测量器 | ||
【主权项】：
1.一种在一基片上形成的质量气流传感器的测量器，包括：至少一对并列在气流方向上并在所述基片上形成一薄膜受热电阻形成部分的薄膜受热电阻；至少一对在所述基片上形成一薄膜环境温度传感电阻形成部分的薄膜非受热环境温度传感电阻；以及若干形成在支撑所述基片的一支撑部分上的薄膜电极接头，该支撑部与所述薄膜受热电阻形成部分和所述薄膜环境温度传感电阻形成部分隔离，这些电极接头用来从所述受热电阻和所述非受热环境温度传感电阻取出电信号，其中，所述薄膜受热电阻形成部分和所述薄膜环境温度传感电阻形成部分前后错开地布置在气流方向上且左右错开地布置在与气流方向垂直的方向上，从而所述该对受热电阻和所述该对非受热电阻在与气流方向垂直的方向上不相重合；并且所述支撑部分设置在所述基片的一端，而所述若干薄膜电极接头即形成在该端上。
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