[发明专利]电子束源和使用它的成像设备的制造方法及激活处理方法无效
| 申请号： | 96100866.0 | 申请日： | 1996-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN1075240C | 公开（公告）日： | 2001-11-21 |
| 发明（设计）人： | 铃木朝岳;鲈英俊;山口英司 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | H01J9/02 | 分类号： | H01J9/02;H01J1/30 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 罗亚川 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 当制造一种电子束源时，进行一种激活。该激活在一些电子发射装置中产生激活物质，办法是把那些电子发射装置划分成许多组并依次对每组施加电压。$＃! | ||
| 搜索关键词： | 电子束 使用 成像 设备 制造 方法 激活 处理 | ||
【主权项】：
1．一种电子束源制造方法，该方法包括一个在一些电子发射装置(1002)中产生激活物质的激活步骤，办法是把那些电子发射装置划分成许多组，并依次对每一组施加电压。
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