[发明专利]圆柱形磁控管的屏蔽结构无效
| 申请号： | 96101901.8 | 申请日： | 1996-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN1134469A | 公开（公告）日： | 1996-10-30 |
| 发明（设计）人： | P·A·西克;J·G·里策尔;N·E·艾伦 | 申请（专利权）人： | 美国BOC氧气集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 董江雄,王忠忠 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了圆柱形磁控管屏蔽结构，该结构具有围着其外表面延伸的环形结构，确定环形结构的尺寸，以便中断可能另外穿过其外表面的任何电弧的运动。在一个最佳形式中，屏蔽结构与地电位、真空腔电位或另外的阳极电位电隔离。最好环形结构的宽度大于电弧的宽度。另外，环形结构的宽度最好小于真空腔中气体的平均自由路径的一半，环形结构还相对于外表面径向延伸，其径向延伸大于环形结构的宽度。 | ||
| 搜索关键词： | 圆柱形 磁控管 屏蔽 结构 | ||
【主权项】：
1.在装置(10)中，在真空腔内的气体气氛中通过从圆柱形靶(14)溅射材料将膜淀积到衬底(22)上，靶(14)通过各个支撑块(16，18)在其相对端(42，44)可旋转地被支撑，所述靶包括非旋转地固定在其中的磁铁，以便建立沿靶的长度方向延伸的溅射区，所述装置包括与所述靶电连接的电源(36)，并且所述装置包括至少一个圆柱形屏蔽结构(38和/或40)，该屏蔽结构由所述支撑块中的至少一个支撑，并且在靶的至少一个相关的端部上延伸，相距一定间隔(50)，其中所述屏蔽结构的改进之处在于包括围着其外表面(62)延伸的至少一个环形结构(52)，确定所述至少一个环形结构的尺寸，以便中断可能另外穿过所述外表面的任何电弧(56)的运动。
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