[发明专利]各种元件诸如半导体元件的模注方法及装置

摘要

一种模注装置具有与模子相连接的注嘴，注嘴中具有第一和第二腔室以及侧孔，小型柱塞具有外柱塞和内柱塞，外柱塞在第一腔室中选择地往复运动，内柱塞在外柱塞的中心腔室和第二腔室二者中可选择地往复运动。模子具有使注嘴和模腔相沟通的窄的毛细的浇口通道。其模注方法为外柱塞运动而开启侧孔使模注物料进入第一腔室，关闭侧孔则充注模腔，然后，内柱塞运动清扫第二腔室中的残留模注物料。$#!

主权项

1、各种元件诸如半导体元件的模注方法，该方法包含的步骤为：(a)在小型柱塞的控制下通过界定在注射注嘴中的侧孔将模注物料充填到注射注嘴中，该小型柱塞在注射注嘴的由外壁包围的腔室中选择地往复地可运动，小型柱塞包含外柱塞，该外柱塞在界定于注嘴中的第一腔室内选择地往复地可运动，以及内柱塞，该内柱塞在外柱塞中界定的中心腔室和注嘴中界定的第二腔室二者中选择地往复地可运动，该注嘴的一端连接到模子上的每个浇口通道的一端处，其中，执行步骤(a)时，在第一腔室中提升小型柱塞的外柱塞以便开启侧孔并允许模注物料在外柱塞的控制下进入第一腔室中，而内柱塞保持完全进入注嘴第二腔室；(b)在注嘴的由外壁包围的腔室中往复地运动小型柱塞以使之实质上将进入注射注嘴的由外壁包围的腔室中的模注物料通过界定在模子中的分开的浇口通道注射到模子的至少一个模腔中，每个浇口通道是窄的毛细腔室并将注射注嘴与模子的分开的模腔相连接；在浇口通道中模注物料凝固之后但是在模子的至少一个模腔内的模注物料凝固之前，将注嘴和模子分开；从模子的至少一个模腔中移去模制元件。