[发明专利]带有温度补偿层的薄膜致动的反射镜阵列

摘要

一种在光学投影系统中使用的M×N个薄膜致动的反射镜阵列，该阵列包括一个有源矩阵、M×N个支持件的一个阵列、M×N个致动机构的一个阵列，每一个致动机构被分成一个致动部分和一个反光部分，并包括第一薄膜电极、薄膜电致移位件、第二薄膜电极、弹性件、绝缘件、温度补偿件和一个导管。此外，还提出一种制造这种M×N个薄膜致动的反射镜的阵列的方法。

主权项

1、一种在光学投影系统中使用的M×N个薄膜致动的反射镜阵列，该阵列包括：一个有源矩阵，该有源矩阵包括一块带有M×N个连接端的一个阵列和M×N个晶体管的一个阵列的基板，其中，每一个连接端与晶体管阵列中的一个对应晶体管电连接；M×N个支持件的一个阵列；以及M×N个致动机构的一个阵列，每一个致动机构支持在一个支持件上构成悬臂结构并包括一个第一薄膜电极、一个薄膜电致移位件、一个第二薄膜电极、一个弹性件、一个绝缘件、一个温度补偿件和一个导管；第一、二薄膜电极分别设置在薄膜电致移位件的顶部和底部上；弹性件设置在第二薄膜电极的底部；温度补偿件位于弹性件的下部；每一个致动机构被分成一个致动部分和一个反光部，其中，致动部分包括作为反射镜并在各致动机构中作为偏压电极的第一薄膜电极的一个前部、薄膜电致移位件、作为信号电极通过导管电连接到连接端的第二薄膜电极、弹性件的前部和温度补偿件的一个部分；反光部分包括也作为反射镜的第一薄膜电极的剩余部分、弹性件的剩余部分和温度补偿件的剩余部分；每一个绝缘件通过在每一个致动机构的第一薄膜电极的前部和其剩余部分之间产生电绝缘，限定出致动部分和反光部。