[发明专利]固体摄象装置及其制造方法无效
申请号: | 96104498.5 | 申请日: | 1996-05-02 |
公开(公告)号: | CN1159607A | 公开(公告)日: | 1997-09-17 |
发明(设计)人: | 重田阳子;市川美千代;本朗 | 申请(专利权)人: | 松下电子工业株式会社 |
主分类号: | G03B33/00 | 分类号: | G03B33/00 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 刘志平 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种高光敏度的固体摄象装置。对涂敷在装置表面上的透镜抗蚀剂用透镜掩膜进行曝光及显影处理,形成透镜型块。用UV光照射透镜型块提高穿透率之后,对其加热形成半球状的微型透镜。此时,通过将加热温度设定低于透镜型块完全熔化的温度,使透镜型块不会溢出,微型透镜相互间的间隔与透镜型块相互间的间隔相同。因此,通过减小透镜型块相互间的间隔可扩大微型透镜的受光面积。 | ||
搜索关键词: | 固体 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种固体摄象装置,具有将入射光转换成电荷的受光部,以及将光聚集到所述受光部的微型透镜,所述微型透镜的底面为方形,所述微型透镜的高度为该微型透镜底面短边的一半以上。
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