[发明专利]在基底上淀积薄膜的装置无效
| 申请号： | 96105547.2 | 申请日： | 1996-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN1068639C | 公开（公告）日： | 2001-07-18 |
| 发明（设计）人： | Ｍ·舒马赫;Ｅ·温特;Ａ·索尔;Ｄ·马夸特 | 申请（专利权）人： | 鲍尔泽斯和利博尔德德国控股公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 蔡民军 |
| 地址： | 联邦德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种使用阴极溅射法在真空室（1）内在基底（10）上淀积薄膜的装置，待加工的基底可穿过真空室移动，该装置包括一个溅射阴极（12）和阳极（4，5）之间的挡板（8，9），其中基底平面布置在阳极的下面，阳极是具有L形横截面的型材导轨，其短边（4a，5a）分别靠在内有温控介质和过程气体流过的空心型材（6，7）上，并位于空心型材的上面，并在该位置上用销钉、螺钉或卡块固定；这些固定件自空心型材的上表面向上延伸，并与阳极短边上的孔相配合。 | ||
| 搜索关键词： | 基底 上淀积 薄膜 装置 | ||
【主权项】：
1．使用阴极溅射法在真空室(1)内在基底(10)上淀积薄膜的装置，待淀积的基底(10)可穿过真空室移动，该装置包括一个位于溅射阴极(12)和阳极(4,5)之间的挡板(8,9)，其中基底平面(11)布置在阳极(4,5)的下面，该装置还包括固定在真空室(1)的侧壁上并含有通道(6a、6b、6d、6f或7a、7b、7f、7d)的空心型材(6、7)，该空心型材与阴极平面平行并且处于阴极(12)和阳极(4、5)之间的区域，空心型材内有冷却介质和工作气体流过，空心型材(6、7)上设有垂直于通道布置的多个孔(6e、6e′；7e、7e′)，工作气体可通过该孔排入真空室(1)，其特征是，阳极(4、5)是具有L形横截面的型材导轨，其短边(4a、5a)分别靠在空心型材(6、7)上，并位于空心型材(6、7)的上面，并在该位置上用多个销钉(21、21′)、螺钉或定位块固定，这些固定件自空心型材(6、7)的上表面向上延伸，并与阳极短边(4a、5a)上的孔相配合。
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