[发明专利]具有活动轭形件和隐藏扭铰件的数字式空间音光调制器无效
| 申请号： | 96106137.5 | 申请日： | 1996-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN1160218A | 公开（公告）日： | 1997-09-24 |
| 发明（设计）人： | 拉里·霍恩贝克 | 申请（专利权）人： | 德克萨斯仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/00 | 分类号： | G02F1/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 傅远 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种性能改进的DMD型空间光调制器(10)，象素镜(30)安装在轭形件(32)上，由此在多个结构之间产生静电吸引力(70，76，80，82)，第一，在举起的微镜(30)与举起的寻址电极(50，52)之间，其次，在轭形件(32)与其下的寻址电极(26，28)之间。象素(30)实现了大的寻址力矩、大的捕获力矩、大的复位力矩和比以前器件更大的寻址余量。基板寻址电极(26，28)上轭形件(32)的靠近实现了大的吸引力，由此象素不受寻址变换的影响，只需低的复位电压，且获得更快的切换速度。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 活动 轭形件 隐藏 扭铰件 数字式 空间 调制器 | ||
【主权项】：
1.一种空间光调制器，其特征在于，包括：a)基板；b)寻址电路组，包含靠近所述基板的第一部分和在所述基板上举起的第二部分；c)轭形件，支撑在所述寻址电路组第一部分上；d)至少一个扭铰件，与所述轭形件相连并支撑所述轭形件，使得所述轭形件可以偏转；以及e)一个象素，由所述轭形件举起和支撑，所述象素位于所述举起的寻址电路第二部分上。
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