[发明专利]氦检漏器无效
| 申请号： | 96106153.7 | 申请日： | 1996-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN1083575C | 公开（公告）日： | 2002-04-24 |
| 发明（设计）人： | 冈本英树 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00;G01M3/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 沈昭坤 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种氦检漏器，它在因严重泄漏而在油旋转真空泵(RP2)的油中混入大量He时，能快速降低质量分析部的本底值，有效地再启动检漏。在质量分析部(ANAL)检出超过门限值的测定值时，微机单元(4)判定为严重泄漏并控制使RP2所设镇气口(21)上的电磁阀(GBV)开启一定时间，导入大气，搅拌油中所溶氦气泡，使之加速排出RP2，从而无He倒流ANAL，达到上述效果。$#! | ||
| 搜索关键词： | 检漏 | ||
【主权项】：
1.一种氦检漏器，包括：只检测氦的质量分析部、对质量分析部与被检测体均能进行真空抽气的主泵、起该主泵的初级抽气泵作用的油旋转真空泵；其特征在于，在所述油旋转真空泵上备有镇气口，在该镇气口上设置可有选择地开关的电磁阀，同时，设置当用所述质量分析部测定的氦测定值超过预定的门限值时，使所述电磁阀保持一定时间开启的控制手段。
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