[发明专利]在薄膜致动反射镜中形成连接孔的方法无效
| 申请号： | 96106433.1 | 申请日： | 1996-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN1164663A | 公开（公告）日： | 1997-11-12 |
| 发明（设计）人： | 闵庸基 | 申请（专利权）人： | 大宇电子株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/01 | 分类号： | G02F1/01 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 蹇炜 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于使一薄膜致动反射镜中一有源矩阵上的一薄膜电极与一连接端子电连接的方法，包括有以下步骤在该有源矩阵的顶上形成一具有一空腔的薄膜待除层，其中该空腔围绕该连接端子；在包括该空腔的薄膜待除层的顶上形成一弹性层；在该弹性层上形成一孔，该孔暴露出该连接端并具有内表面；在包括该孔的内表面的该弹性层顶上形成该薄膜电极，从而在该薄膜电极与该连接端之间形成电连接；并用绝缘材料填充该孔。该绝缘材料防止各薄膜致动反射镜中的薄膜电极相互之间发生电接触，从而防止其间发生短路。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 反射 形成 连接 方法 | ||
【主权项】：
1、一种用于使一薄膜致动反射镜中一有源矩阵上的一薄膜电极与一连接端子电连接的方法，该方法包括有以下步骤：在该有源矩阵上形成一带有一空腔的第一层；在该带有空腔的第一层的顶上形成第二层；在该第二层上形成一连接孔，该连接孔具有内表面；在包括该连接孔的内表面的第二层的顶上形成薄膜电极，形成一凹陷部分，其内表面被该薄膜电极所覆盖；及在该凹陷部分中填入一种材料。
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