[发明专利]电阻器及微调电阻器的方法无效
申请号: | 96107201.6 | 申请日: | 1996-04-11 |
公开(公告)号: | CN1075660C | 公开(公告)日: | 2001-11-28 |
发明(设计)人: | 石田浩一;米泽正雄;星井光博 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H01C17/24 | 分类号: | H01C17/24;H01C7/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 刘晓峰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 电阻器微调的方法包括的工艺步骤为从一个电阻器的边缘上靠近第一电极并平行于第一电极形成第一槽,电阻器连接在绝缘衬底上的第一和第二电极;向着第二电极并垂直于第一槽形成作为第一槽的延续部分的第二槽;从电阻器的边缘上的一点并平行于第一电极形成第三槽,该点被从第一槽向第二电极移位,第三槽在沿第一电极的方向上比第一槽长;向着第二电极并垂直于第一槽形成作为第三槽的延续部分的第四槽。还提供采用这种方法制成的电阻器。$#! | ||
搜索关键词: | 电阻器 微调 方法 | ||
【主权项】:
1.一种电阻器的微调方法,包括下列工艺步骤:从一个电阻器的边缘上尽可能靠近第一电极处并平行于第一电极形成第一槽,该电阻器连接在绝缘衬底上的第一和第二电极;向着第二电极并垂直于第一槽形成作为第一槽的延续部分的第二槽;其特征在于还包括下列步骤:从电阻器的边缘上的第一点并平行于第一电极形成一条第三槽,该第一点从第一槽向第二电极移动,第三槽在平行于第一电极的方向上比第一槽长;和向着第二电极并垂直于第三槽形成作为第三槽的延续部分的第四槽;第二槽和第四槽延伸到尽可能靠近第二电极的位置。
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