[发明专利]用于轴外照明的标度掩膜板无效
| 申请号： | 96107367.5 | 申请日： | 1996-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN1088856C | 公开（公告）日： | 2002-08-07 |
| 发明（设计）人： | 裵相满 | 申请（专利权）人： | 现代电子产业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/14 | 分类号： | G03F7/14;H01L27/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 陈亮 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于轴外照明的标度掩膜板具有不同尺寸的间距，其中辅助图形是以标度掩膜板的全部图形的衍射角相同或相近的方式在间距图形处形成，该间距图形的尺寸比最大焦点范围裕度的间距大，这样，用轴外照明是不合适的。重复设置的辅助图形是点状或突出形状的，它们的大小不足以在晶片上形成图象。因此，边界间距的尺寸与最大焦点范围裕度的图形相等或相近，所以，使对大间距图形有益的小工艺裕度与对小间距图形有益的工艺裕度一样大。因此，使半导体制造中的工艺容差均匀增大，同时使可靠性和成品率以及图形的均匀性得到充分改善。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 照明 标度 掩膜板 | ||
【主权项】：
1.一种用于轴外照明的标度掩膜板，它包括透明基片上的具有宽度不同的多个间距的光掩蔽图形，其特征是，在宽度比具有最小宽度的间距更大的间距中以整个标度掩模板的衍射角相同或相近的方式形成多个辅助图形，这些辅助图形具有小到不足以形成图象的尺寸。
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