[发明专利]具有波纹形电极的叠层电容器无效
申请号: | 96109886.4 | 申请日: | 1996-10-03 |
公开(公告)号: | CN1151086A | 公开(公告)日: | 1997-06-04 |
发明(设计)人: | 渡边启仁;本间一郎 | 申请(专利权)人: | 日本电气株式会社 |
主分类号: | H01L27/10 | 分类号: | H01L27/10;H01L21/28 |
代理公司: | 中科专利代理有限责任公司 | 代理人: | 齐晓寰,卢纪 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明公开了一种可以被用作存贮单元的半导体器件,它包括一个电容器,一个波纹形电极被一个绝缘薄膜覆盖,并被用作电容器的下置电极,与一个上置电极相对。从剖面看,该叠层电极是由一系列水平地和竖直地交替叠在一起的折迭的部分界定的。具体而言,波纹形电极是由一座波纹形的墙壁形成的,该波纹形的墙壁围成一个空区并在一个平面上具有矩形或多边形的形状。作为另一种形式,波纹形的墙壁具有一种由颗粒的聚合形成的不规则的表面,以便有效地增大下置电极的表面。 | ||
搜索关键词: | 具有 波纹 电极 电容器 | ||
【主权项】:
1.一种电容器,包括一个第一电极、一个与所述第一电极相对的第二电极、和一个置于第一电极和第二电极之间的绝缘介质薄膜,其特征在于,所述第一电极包括一个从剖看由一系列折迭部分分段构成的波纹形电极。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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