[发明专利]具有波纹形电极的叠层电容器无效

专利信息
申请号: 96109886.4 申请日: 1996-10-03
公开(公告)号: CN1151086A 公开(公告)日: 1997-06-04
发明(设计)人: 渡边启仁;本间一郎 申请(专利权)人: 日本电气株式会社
主分类号: H01L27/10 分类号: H01L27/10;H01L21/28
代理公司: 中科专利代理有限责任公司 代理人: 齐晓寰,卢纪
地址: 日本国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明公开了一种可以被用作存贮单元的半导体器件,它包括一个电容器,一个波纹形电极被一个绝缘薄膜覆盖,并被用作电容器的下置电极,与一个上置电极相对。从剖面看,该叠层电极是由一系列水平地和竖直地交替叠在一起的折迭的部分界定的。具体而言,波纹形电极是由一座波纹形的墙壁形成的,该波纹形的墙壁围成一个空区并在一个平面上具有矩形或多边形的形状。作为另一种形式,波纹形的墙壁具有一种由颗粒的聚合形成的不规则的表面,以便有效地增大下置电极的表面。
搜索关键词: 具有 波纹 电极 电容器
【主权项】:
1.一种电容器,包括一个第一电极、一个与所述第一电极相对的第二电极、和一个置于第一电极和第二电极之间的绝缘介质薄膜,其特征在于,所述第一电极包括一个从剖看由一系列折迭部分分段构成的波纹形电极。
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