[发明专利]电子发射器件、电子源和图像形成装置及其制造方法

摘要

一种电子发射器件，包括一对相对设置的器件电极，一与器件电极电气连接的导电膜，该导电膜的一部分构成电子发射区。用包含金属氧化物为主要成分的金属氧化物涂层部分或全部覆盖导电膜，所述金属氧化物的熔点高于导电膜的主要成分材料的熔点。导电膜还有包含碳、碳化合物或其混合物的淀积层。

主权项

1.一种电子发射器件(1-7)，包括：一对相对设置的器件电极(2，3)；一与所述器件电极电气连接的导电膜(4)，该导电膜的一部分形成电子发射区(5)；以及位于所述电子发射区(5)上及周围的淀积层(7)，该淀积层包含碳、碳化物或其他混合物；其特征在于，全部或至少大部分覆盖所述器件电极之间的所述导电膜区域的金属氧化物涂层(6)，所述金属氧化物涂层的主要成分为金属氧化物，该金属氧化物的熔点高于所述导电膜的主要成分材料的熔点。