[发明专利]干法加工气体无效
| 申请号： | 96114403.3 | 申请日： | 1996-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN1157860A | 公开（公告）日： | 1997-08-27 |
| 发明（设计）人： | 岩森晓;野崎正平;福田伸;中岛康甫;福田信弘 | 申请（专利权）人： | 三井东压化学株式会社 |
| 主分类号： | C23F1/12 | 分类号： | C23F1/12 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张元忠 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供含CF3I作为一种成分的干法加工气体，一种ITO(氧化锡铟)和其它导电氧化物的高速各向异性干法浸蚀方法以及由进行如干法浸蚀或真空沉积操作而污染的设备的干式净化方法。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 气体 | ||
【主权项】：
1.含CF3I作为一种成分的干法加工气体。
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