[发明专利]从离子注入器的内部区域中俘获和清除不纯粒子的方法和装置无效
| 申请号： | 96116703.3 | 申请日： | 1996-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN1158494A | 公开（公告）日： | 1997-09-03 |
| 发明（设计）人： | J·G·布莱克;R·贝克;D·奇曼;M·琼斯;L·曼恩;F·辛克莱;D·K·史东 | 申请（专利权）人： | 易通公司 |
| 主分类号： | H01L21/265 | 分类号： | H01L21/265 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 吴增勇,张志醒 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 俘获和清除在抽真空的离子注入器内部运动的不纯粒子的方法包括步骤提供具有不纯粒子容易粘附的表面的粒子收集器；把粒子收集器固定到注入器，使粒子粘附表面处在与在内部区域运动的不纯粒子的流体交流中；在预定时间周期以后，把粒子收集器从注入器中取出。在与粒子收集器结合的离子注入器中，收集器包括不纯粒子容易粘附的表面和固定件，后者把粒子收集器可拆卸地固定到注入器，使粒子粘附表面处在与注入器的抽真空的内部的流体交流中。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 注入 内部 区域 俘获 清除 不纯 粒子 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.俘获和清除在抽真空的离子注入器(10)的内部区域运动的不纯粒子的方法，其中，带电离子经过抽真空的内部区域中的离子行进路径14，以便处理工件，其特征在于该方法包括以下步骤：a)提供一种具有粒子粘附表面的粒子收集器(74)，不纯粒子粘附到该粘附表面上，b)把粒子收集器这样固定到注入器，使得收集器(74)的粒子粘附表面被置于抽真空的内部区域中离子行进路径(14)附近的位置上，c)按周期性的时间间隔把粒子收集器从离子束注入器(10)中取出，以便从注入器的抽真空的内部区域清除粘附在收集器上的粒子。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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