[发明专利]刻蚀方法无效
| 申请号： | 96119282.8 | 申请日： | 1996-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN1072737C | 公开（公告）日： | 2001-10-10 |
| 发明（设计）人： | 一濑博文;泽山一平;长谷部明男;村上勉;久松雅哉;新仓谕;上野雪绘 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | C25F3/02 | 分类号： | C25F3/02;C25F3/12 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王以平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种刻蚀方法，包括将待要刻蚀的物体浸入电解液作为负电极；设置具有相应图形的相对电极，与该物体维持预定间隔；在该物体和相对电极之间施加直流或脉冲电流，从而将物体上要刻蚀的区域刻蚀成相对应的图形。$＃! | ||
| 搜索关键词： | 刻蚀 方法 | ||
【主权项】：
1．一种刻蚀具有要刻蚀区的基片的方法，包括步骤：(a)将所说基片浸入电解液使所说基片作负电极，(b)设置具有和所说电解液中所说基片要刻蚀区域上将要形成的要求刻蚀图形相对应的图形的相对电极，使所说相对电极与所说基片维持预定的间隔，(c)在所说基片和所说相对电极之间加直流电流或脉冲电流，将所说基片上要刻蚀的区域刻蚀成和所说相对电极的所说图形相对应的图形。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佳能株式会社，未经佳能株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/96119282.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：可堆叠托盘
- 下一篇：成象方法,成象设备和处理卡盒
