[发明专利]制备三氯硅烷的方法无效
申请号: | 96120113.4 | 申请日: | 1996-09-23 |
公开(公告)号: | CN1153138A | 公开(公告)日: | 1997-07-02 |
发明(设计)人: | 鲁道尔夫·格里斯哈默;弗兰茨·科普尔;弗兰茨·施赖德 | 申请(专利权)人: | 瓦克化学有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 甘玲 |
地址: | 联邦德*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种通过在流化床反应器中还原四氯硅烷来制备三氯硅烷的方法。该方法包括以下步骤a)在反应器中建立一个硅颗粒的流化床;b)将微波辐射直接导入反应器中,加热硅颗粒使其温度达到300-1100℃;c)使含有四氯硅烷和氢的反应气通过流化床,使反应气与硅颗粒反应,形成含有三氯硅烷的产物气,和d)由反应器中取出产物气。 | ||
搜索关键词: | 制备 硅烷 方法 | ||
【主权项】:
1,通过在流化床反应器中还原四氯硅烷来制备三氯硅烷的方法,该方法包括:a)在反应器中建立一个硅颗粒的流化床;b)将微波辐射直接导入反应器中,加热硅颗粒使其温度达到300-110℃;c)使含有四氯硅烷和氢的反应气通过流化床,使反应气与硅颗粒反应,形成含有三氯硅烷的产物气,和d)由反应器中取出产物气。
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