[发明专利]多束电子光刻系统的电子柱光学器件无效
| 申请号： | 96120563.6 | 申请日： | 1996-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN1172973A | 公开（公告）日： | 1998-02-11 |
| 发明（设计）人： | N·威廉帕克 | 申请（专利权）人： | 离子诊断公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/30 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 余朦 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 电子柱光学器件包括一个为接收来自一个矩形电子源的电子并用来将电子加速到第一加速度范围所设置的第一电透镜组件;该第一电透镜组件进一步用来基本上补偿由第一加速度产生的像散现象;一个为接收来自第一电透镜组件的电子,并用来将电子加速到第二加速度范围所设置的第二电透镜组件,该第二电透镜组件进一步用来将接收的电子聚焦在一个远端表面上。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 光刻 系统 光学 器件 | ||
【主权项】：
1.用于使电子源在远端表面上成像的电子柱光学器件，其特征在于，该光学器件包括：一个电子源；一个为接收来自该电子源的电子并用来将电子的第一加速度提供到第一加速度范围而设置的第一电透镜组件，该第一电透镜组件进一步用来基本上补偿由第一加速度产生的像散现象；和一个为接收来自第一电透镜组件的有第一加速度范围的电子，并用来将电子的第二加速度提供到第二加速度范围而设置的第二电透镜组件，与远端表面结合，该第二电透镜组件进一步用来将接收的电子聚焦在该远端表面上。
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