[发明专利]加速度传感器及其制造方法无效
| 申请号： | 96122837.7 | 申请日： | 1996-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN1090324C | 公开（公告）日： | 2002-09-04 |
| 发明（设计）人： | 大土哲郎;杉本雅人;小掠哲义;富田佳宏;川崎修 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | G01P15/09 | 分类号： | G01P15/09;H01L41/083;H01L41/113 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 程天正,叶恺东 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 将由具有相对的2个主面的厚50μm、宽0.5m、长2mm的长方形的铌酸锂构成的压电基板(2a、2b)的主面之间以极化轴的方向成为相互相反的方向进行接合，构成压电元件(2)。将由铌酸锂构成的支持体(4a、4b)与压电元件(2)的一端直接接合。在压电元件(2)的相对的2个主面和支持体(4a、4b)上连续地形成由厚度0.2μm的铬-金构成的电极(3a、3b)，构成悬臂梁结构的双压电晶片式机-电变换元件(1)。从而，构成本发明的加速度传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 加速度 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种加速度传感器，其特征在于：包括具有相对的2个主面的2个压电基板的上述主面之间直接接合而构成的压电元件、由在上述压电元件的相对的2个主面上形成的电极构成的机-电变换元件和支持上述机-电变换元件的支持体，上述2个压电基板的主面之间通过使上述2个压电基板的构成原子通过氧原子、羟基或氧原子和羟基相互结合而直接接合。
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