[发明专利]电极组件、其组装方法以及用电极组件处理晶片的方法

摘要

可以实现一种用于在等离子反应室内处理单晶片的电极组件，电极组件包括一个支撑部件(32)，一个具有均匀厚度的盘的形式的类似硅喷头电极的电极(30)，和一个提供压向喷头电极的弹性夹持力的夹持环(34)。夹持部件可为由弹性可变形材料制成的环及夹持部件可用众多隔开的弹性的螺栓(35)拧紧从而将夹持部件压紧和在处理晶片时电极组件的整个温度变化周期内提供弹性夹持力。将加压气体送入喷头电极和支撑部件之间的间隙内，可改善它们之间的热传导。夹持部件也在电极与被处理晶片之间的区域内提供等离子约束。

主权项

1.一种用于晶片处理的等离子反应室的电极组件，包括：一个支撑部件，具有面向反应室内待处理的晶片的下表面；一个电极，具有一个面向晶片的下表面，该电极的外边缘的上表面面向支撑部件的下表面；以及一个夹持部件，与电极外边缘接合及将电极弹性地压向支撑部件。