[实用新型]磁控弧光放电离子镀装置无效
| 申请号： | 96204019.3 | 申请日： | 1996-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN2256886Y | 公开（公告）日： | 1997-06-25 |
| 发明（设计）人： | 赵永年;何志 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 吉林大学专利事务所 | 代理人： | 王恩远 |
| 地址： | 130023 *** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本实用新型属磁控弧光放电等离子体镀膜装置。主要结构包括电子枪(1)、固体蒸气源(9)、基板(2)，以及用于产生高密度的等离子体区(8)的永磁体(6、7)、灯丝(3)和阴极(4)、阳极(5)。阴极(4)和阳极(5)分别是包围永磁体(6、7)的冷水套表面。本实用新型能使气体充分电离、固体蒸气与气体离子充分接触，从而能有效地反应成膜，有利于反应成膜速度和成膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 弧光 放电 离子镀 装置 | ||
【主权项】：
1.一种磁控弧光放电离子镀装置，在开有进气孔(10)和抽气孔(11)的真空室外壳(13)内，下方装有电子枪(1)和固体蒸气源(9)，上方装有基板(2)，基板(2)跟射频电源(14)连接，本实用新型的特征在于，在真空室内的基板(2)下面，横向装有两块永磁体(6、7)，两永磁体(6、7)的异性磁极相对放置，在靠近永磁体(7)的内侧装有灯丝(3)和阴极(4)，在靠近永磁体(6)的内侧装有阳极(5)。
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