[实用新型]气体质量流量控制器无效
| 申请号： | 96209896.5 | 申请日： | 1996-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN2243092Y | 公开（公告）日： | 1996-12-18 |
| 发明（设计）人： | 应为忠;李然 | 申请（专利权）人： | 北京圣业科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100872 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种气体质量流量控制器，其主要特征是在中空的基体内部设置一限流器，在基体上部采用毛细管三绕组式温度传感器，中间绕组为卡马斯加热圈，相对称的两侧绕组为热敏材料线圈，根据气体分子流过毛细管产生的温度，输出电阻差值，经电量转换电路，输出标准信号，实现测量和数字显示气体质量流量，再经控制电路和电磁调节阀，实现精密控制气体质量流量。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 质量 流量 控制器 | ||
【主权项】：
1.一种气体质量流量控制器，其特征在于：由毛细管绕组式温度传感器(3)、电量转换电路和电磁控制阀(7)组成，在中空的基体(1)内部有一限流器(2)，在基体(1)上部为毛细管绕组式温度传感器(3)，所述毛细管绕组式温度传感器(3)由一根毛细管和缠绕其上的三组线圈组成，中间绕组为卡马斯加热圈(5)，两测相对称、阻值相等的绕组为热敏材料线圈(6)，线圈(6)与电量转换电路相连，再与连续可调的电磁控制阀(7)相接。
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