[实用新型]多工位气相合成金刚石膜装置

摘要

本实用新型属于化学气相沉积技术，涉及一种由六套单元系统构成的多工位气相合成金刚石膜装置，各单元系统分别由充气系统、排气系统和反应室等连接构成，六单元系统并联成结构相同、工作相对独立且便于控制的六工位整机装置，氢气和甲烷充气系统并联后接入反应室，反应室内的灯丝安装和更换采用专用工装设备，制有辅助排气管路便于故障检修，具有结构新颖，性能可靠，产量高，质量好，便于维修等优点，可用于厚金刚石膜置备。

主权项

1、一种属于化学气相沉积技术，由六套单元系统并联构成的多工位气相合成金刚石膜的装置，其特征在于整机采用六套结构相同、工作相对独立的反应系统并行联接构成，每套系统分别由充气系统、排气系统和反应室等连接构成，采用一台氢气质量流量计和一台甲烷质量流量计分别控制两种气体的总流量。