[实用新型]双重耦合磁力传递机械手

摘要

本设备为一种真空设备中机械传递装置,其结构是中间为连接法兰,与真空设备固定,中间装有套管和支杆,支杆在套管内可里外移动且紧密配合,支杆前有前指,套管前有后指,在支杆和套管中分别装有磁力耦合器,利用耦合器移动和中间波纹管连接可使真空腔内样品移动或转动,优点结构简单,制作容易,在真空腔内移动样品,使用方便灵活。

主权项

1.一种双重耦合磁力传递机械手，其特征在于该机械手由前后指(1)、与前后指联接之支杆(11)与套管(12)，中间法兰(4)及外面的耦合器(I)，耦合器(II)(9)组成，其联接是中间为法兰盘(4)，与真空设置箱体固定连接，法兰中间有套管(12)，套管(12)里端为后指(2)，与套管垂直固定，套管(2)另一端为耦合器(II)(9)，套管与法兰中间装有球面轴承(3)，套管(12)中间为支杆(11)，支杆与套管紧密配合，支杆前端为前指(1)，与支杆垂直固定，支杆后端装有耦合器(I)(10)耦合器(I)、(II)外面装有支架，支架顶端与法兰之间装波纹管(5)，耦合器(II)上固定有游标(7)，支架上与游标对应装有直线尺(6)，在耦合器(I)上同时装有角度尺(8)。