[发明专利]一种高精度鉴相型容栅传感器的制作原理及方法无效
| 申请号： | 97101342.X | 申请日： | 1997-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN1189606A | 公开（公告）日： | 1998-08-05 |
| 发明（设计）人： | 梁春华 | 申请（专利权）人： | 桂林市精达数字产品有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02;G01D5/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 541004 广西*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制作高精度鉴相型容栅传感器的原理及方法,把主栅、副栅的节距缩小到原集成电路内部节距的五分之一,副栅的八路驱动信号栅条排列在同一节距内,副栅栅条间无地线隔离层,使传感器体积更小,更适于制作电子千分表等小体积量具量仪。在工艺上,采用压焊过线方法代替金属化过孔实现副栅发射极栅条与八路驱动信号连接线之间的连接。使容栅传感器更易于制作,成本低,成品率高,易于推广,且分辨率、测量精度和示值误差都提高到了微米级。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 鉴相型容栅 传感器 制作 原理 方法 | ||
【主权项】：
1、制作鉴相型容栅传感器主栅、副栅栅条的节距为原集成电路内部节距的五分之一。
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