[发明专利]二氧化硅增透膜的制备方法无效
| 申请号： | 97106405.9 | 申请日： | 1997-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN1059276C | 公开（公告）日： | 2000-12-06 |
| 发明（设计）人： | 朱从善;汤加苗 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B1/10 | 分类号： | G02B1/10 |
| 代理公司： | 上海华东专利事务所 | 代理人： | 李兰英 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种二氧化硅增透膜的制备方法，采用溶胶－凝胶法在基片上制成用于增透膜的二氧化硅膜层。制成的二氧化硅膜层置入带有控温系统的加热炉中的加热管内，加热管内通入氨气，并对加热管缓慢升温，升高温度Ｔ〉２００℃时再保温一定时间后逐渐降到室温。经过本发明的碱性高温强化处理的二氧化硅膜层与基片的结合力强，能够经受较大强度的擦洗，并能承受高温或强光的辐射。 | ||
| 搜索关键词： | 二氧化硅 增透膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种二氧化硅增透膜的制备方法，采用溶胶-凝胶法在基片上制成作为增透膜的二氧化硅膜层，其特征在于制成的二氧化硅膜层经过碱性高温强化处理，具体的做法是将制成的二氧化硅膜层置入带有控温系统(4)的加热炉(2)中的加热管(1)内，向加热管(1)内通入氨气，并缓慢升高加热管(1)的温度T，升温时间t1＞1小时，当加热管(1)内的温度T＞200℃时，保温时间t2＞1小时后，逐渐冷却至室温。
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