[发明专利]压电薄膜元件无效
| 申请号： | 97113029.9 | 申请日： | 1997-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN1170990A | 公开（公告）日： | 1998-01-21 |
| 发明（设计）人： | 武内幸久;木村浩二;高桥正郎 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/15 | 分类号： | H03H9/15 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 郑修哲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 压电薄膜型元件包括接续地整体设在堆在陶瓷基片(12)上构成的压电工作层,一个单一的平薄膜型下电极(16),一压电层(18)和包括多个交替设置的条形电极(20a,20b)上的电极(20)。下电极(16)为第一电极,上电极(20)为第二电极。第一、二电极及压电层(18)构成第一压电工作装置,而第二电极及压电层(18)构成第二压电工作装置。上述压电工作层上没堆着其它的压电层。这样压电薄膜型元件可充分利用压电工作段的工作性能,作用好,尺寸紧凑及可在低电压下工作。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 薄膜 元件 | ||
【主权项】：
1.一种压电薄膜型元件，其结构包括一个陶瓷基片(2，12)，和一个薄膜型压电工作层，所述的工作层包括设在所述的陶瓷基片(2，12)的至少一表面的至少一部分上成层状结构的单一压电层(8，18)，和分别整体设在沿所述的压电层(8，18)的厚度方向的两侧的第一和第二电极(6，6，10，20)，其中在所述的压电工作层上没有叠着其它的压电工作层；所述的压电薄膜型元件包括：使用单一的平薄膜型电极层形成的所述的第一电极(6，16)；至少一部分使用多个条形电极形成的所述的第二电极(10，20)，由所述的第一和第二电极(6，16，10，20)构成的第一压电工作装置；和由所述的压电层(8，18)和所述的第二电极(10，20)的多个条形电极构成的第二压电工作装置。
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