[发明专利]无化学物质的干燥空气发生装置无效
| 申请号： | 97115444.9 | 申请日： | 1997-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN1178307A | 公开（公告）日： | 1998-04-08 |
| 发明（设计）人： | 长舟平;福本隼明;谷博司;江崎浩治 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | F24F1/02 | 分类号： | F24F1/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 杨凯,叶恺东 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种能以低成本供应无化学物质的干燥空气的无化学物质的干燥空气发生装置。在房间11内配置由室外空气导入用的风机3、化学过滤器4和HEPA过滤器5构成的风机过滤单元2和干燥空气发生装置6,由于使室外空气通过风机过滤单元2,把已除去化学烟雾和数微米级的异物的洁净无化学物质的空气供应房间11,接着把供应到房间11内的无化学物质的空气导入干燥空气发生装置6,把已除去水分的无化学物质的干燥空气通过管道和阀门10b供应给制造装置或传送装置等使用点。 | ||
| 搜索关键词： | 化学物质 干燥 空气 发生 装置 | ||
【主权项】：
1、一种无化学物质的干燥空气发生装置，其特征在于具备：由室外空气导入风机、化学过滤器与HEPA过滤器构成的风机过滤单元；具有密闭结构的房间，对该房间供应通过了上述风机过滤单元的空气；以及干燥空气发生装置，该装置配置在具有上述密闭结构的房间内，该装置在被供给上述房间的空气的同时，把干燥空气供应上述房间之外。
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