[发明专利]一种高稳定度石英谐振式力传感器无效
| 申请号： | 97116456.8 | 申请日： | 1997-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN1065337C | 公开（公告）日： | 2001-05-02 |
| 发明（设计）人： | 冯冠平;王晓红;朱惠忠 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16 |
| 代理公司： | 清华大学专利事务所 | 代理人： | 刘晓蕊 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种压电谐振式力传感器，本传感器针对现有技术稳定性差，蠕变大，寿命短的缺陷，采用双膜片支撑结构和玻璃化转变温度较高的胶作为构件与构件粘接的粘接剂，从而使压电谐振式力传感器稳定性好，蠕变小，且寿命得到了大大的提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 稳定 石英 谐振 传感器 | ||
【主权项】：
1、一种高稳定度石英谐振式力传感器，包括电极(1)、上砧(5)、石英谐振器(4)、下砧(3)、壳体(2)、上砧(5)的底部和下砧(3)的上部分别开有宽度略大于石英谐振器(4)厚度的凹槽用于固定石英谐振器(4)，石英谐振器(4)由上砧(5)和下砧(3)支撑在传感器的壳体(2)内，外力F通过上砧(5)、下砧(3)对石英谐振器(4)产生对径的压力，其特征是：上砧(5)的位置由膜片(6)和上支撑板(9)所组成的双膜片结构限制，膜片(6)和上支撑板(9)之间用一柱体(7)联接，构件与构件的联接均采用胶粘剂粘接；所述的上支撑板(9)的厚度为0．15mm～2mm；构件与构件联接用胶粘剂的玻璃化转变温度为30℃以上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学，未经清华大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/97116456.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种治疗结石的药物
- 下一篇：通过热挤压制造荧光陶瓷的方法
