[发明专利]级联扫描光学系统无效
申请号: | 97117592.6 | 申请日: | 1997-09-04 |
公开(公告)号: | CN1063850C | 公开(公告)日: | 2001-03-28 |
发明(设计)人: | 高野正寿;高杉英次;菊地信司;佐藤勉;斋藤裕行;荒木佳幸;饭间光规;佐佐木隆;饭塚隆之 | 申请(专利权)人: | 旭光学工业株式会社 |
主分类号: | G02B26/12 | 分类号: | G02B26/12;H04N1/113 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 王以平 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种级联扫描光学系统,包括一对激光扫描光学系统,各有一激光束发射器和一激光束偏转器,其中激光束发射器发射的激光束进入激光束偏转器,激光束偏转器偏转所述激光束以扫描一个部件的表面,使得所述激光束投射到所述表面上的一条公共线上并位于所述公共线的相应区间内;一对反射镜;一对在分扫描方向具有光焦度的柱面透镜;用于调节该对反射镜至少其一的第一机构;和用于调节该对柱面透镜至少其一的第二机构。 | ||
搜索关键词: | 级联 扫描 光学系统 | ||
【主权项】:
1.一种级联扫描光学系统,包括:一对激光扫描光学系统,各有一个激光束发射器和一个激光束偏转器,其中所述激光束发射器发射的激光束进入所述激光束偏转器,从而所述激光束偏转器偏转所述激光束以扫描一个部件的表面,使得所述激光束投射到所述表面上的一条公共线上并位于所述公共线的相应区间内;一对反射镜,分别置于所述一对激光扫描光学系统中,所述一对反射镜各位于所述激光束偏转器与所述部件之间的相应光路中,以把入射到其上的激光束反射向所述表面;一对在与主扫描方向垂直的分扫描方向具有光焦度的柱面透镜,分别设置在所述一对激光扫描光学系统中,所述一对柱面透镜各位于所述激光束发射器与所述激光束偏转器之间的相应光路中;用于调节所述一对反射镜至少其一相对于所述表面角度的第一机构;和用于调节所述一对柱面透镜至少其一相对于相应一个所述激光束偏转器的位置的第二机构。
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