[发明专利]应用声表面波元件(OFW元件)的压力传感器无效
| 申请号： | 97121432.8 | 申请日： | 1997-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN1178902A | 公开（公告）日： | 1998-04-15 |
| 发明（设计）人： | H·谢尔;G·斯科尔 | 申请（专利权）人： | 西门子公司 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 萧掬昌,叶恺东 |
| 地址： | 联邦德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本压力传感器具有在一压力接收膜(2)上形成的反射式OFW延迟线(2—6),其具有的至少3个反射器(4,5,6)既分布在压力接收膜(2)的膨胀区,也分布在其压缩区。 | ||
| 搜索关键词： | 应用 表面波 元件 ofw 压力传感器 | ||
【主权项】：
1、应用声表面波元件(OFW元件)并将之装在压力接收膜形变不相同的位置上的压力传感器，其特征在于：在压力接收膜(2)上构成有至少3个反射器(4，5，6)的反射式OFW延迟线(2-6，8)，这些反射器既分布在压力接收膜(2)的膨胀区，也分布在其压缩区。
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