[发明专利]无水印产生的方法及其装置无效
| 申请号： | 97121737.8 | 申请日： | 1997-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN1220193A | 公开（公告）日： | 1999-06-23 |
| 发明（设计）人： | 陈逸男;徐文吉 | 申请（专利权）人： | 南亚科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04 |
| 代理公司： | 隆天国际专利商标代理有限公司 | 代理人： | 左明坤 |
| 地址： | 台湾省桃园县*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明无水印(watermarker)产生的方法及其装置的发明目的在于,在被清洗物件(晶圆)清洗后的干燥过程中,通过将被清洗物件(晶圆)浸渍于可溶解于水、挥发性大于水的液态异丙醇(IsopropylAlcohol,IPA),继而以IPA干燥装置将被清洗物件(晶圆)上的溶剂(相互溶解的液态异丙醇与水分)进行蒸发消除及污染物质的移除,使被清洗物件(晶圆)的外表面上不产生水印,以提高被清洗物件(晶圆)的合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 水印 产生 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1．一种无水印产生的方法，适用于经水分冲洗后之被清洗物件，该无水印产生的方．法具有下列步骤：提供第一工作流体，该第一工作流体的挥发性大于该水分的挥发性，并且该第一工作流体与该水分互溶；将经过该水分冲洗后之该被清洗物件浸入于该第一工作流体中，使得附着于该被清洗物件之该水分与该第一工作流体互溶；及将浸泡于该第一工作流体中之被清洗物件取出后，置放于一干燥装置内部进行干燥处理。
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