[发明专利]抛光组合物无效
| 申请号： | 97126036.2 | 申请日： | 1997-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN1185472A | 公开（公告）日： | 1998-06-24 |
| 发明（设计）人： | 児玉一志;伊东真时;铃村聡 | 申请（专利权）人： | 不二见株式会社 |
| 主分类号： | C09G1/18 | 分类号： | C09G1/18 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 白益华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种抛光铝、铜或钨膜的组合物,它包含水和选自二氧化硅,氧化铝,氧化铈,氮化硅和氧化锆的抛光剂,所述组合物还包含溶解在组合物中的铁(Ⅲ)化合物,其中铁(Ⅲ)化合物选自焦磷酸铁(Ⅲ),柠檬酸铁(Ⅲ),柠檬酸铁(Ⅲ)铵,草酸铁(Ⅲ)铵,硫酸铁(Ⅲ)铵,高氯酸铁(Ⅲ),氯化铁(Ⅲ),硫酸铁(Ⅲ)和磷酸铁(Ⅲ)。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 组合 | ||
【主权项】：
1.一种抛光铝、铜或钨膜的组合物，它包含水和选自二氧化硅，氧化铝，氧化铈，氮化硅和氧化锆的抛光剂，所述组合物还包含溶解在组合物中的铁(III)化合物，其中铁(III)化合物选自焦磷酸铁(III)，柠檬酸铁(III)，柠檬酸铁(III)铵，草酸铁(III)铵，硫酸铁(III)铵，高氯酸铁(III)，氯化铁(III)，硫酸铁(III)和磷酸铁(III)。
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