[发明专利]供电能储存用之高表面积金属氮化物或金属氮氧化物

摘要

本发明系关于一种产制在电容器或电池组构型中作为电能储存元件之覆有高表面积氮化铁，氮化钛，γ－氮化钼，氮氧化铌，氮氧化钽，氮氧化钒，氮氧化锆，氮氧化钛，或氮氧化钼之基板的方法，此方法包括用相应金属卤化物之溶液或浆液涂覆一基板，转化金属卤化物为金属氧化物，在升高的温度下，于氮气氛中转化金属氧化物为金属氮化物或氮氧化物。

主权项

1.一种产制覆有高表面积氮化铁，氮化钛或γ—氮化钼之基板以供的电容器或电池组构型中作为电能储存元件之方法，此方法包括：(a)用一选自卤化铁，卤化钛或卤化钼之金属卤化物及一液态挥发性载体之溶液或浆液来涂覆一固态基板之一或二个平坦的蚀刻表面，该基板是一薄片型；(b)在介于约150及400℃间之温度下使步骤(a)之涂有金属卤化物表面膜一载体之基板与氧，空气或其结合物接触约5至602分钟以分别转化卤化铁，卤化钛或卤化钼成薄片状之氧化物且除去液态挥发性载体；(c)如所需地重复步骤(a)和(b)以在基板上得到金属氧化物之累积厚度，此累积之金属氧化物涂层具有高的表面积，且除去挥发性载体；(d)在介于约150及400℃下，在氧，空气或其结合物中(c)之涂有金属氧化物膜的基板约1至3小时以转化至少约95％金属氯化物成金属氧化物；(e)以少于约每分钟40℃之速率在氮气氛中缓慢地增加涂有金属氧化物之基板的温度至介于500至800℃；(f)在介于约500至800℃间使步骤(d)中所产制之涂有氧化物之基板与选有过剩流动之气态氨或氢气和氮气之混合物中之氮源接触1至6小时，此处理将95％以上之氧化物涂层分别转化成氮化铁，氮化钛或γ—氮化钼层在基板上，该氮化物层具有高表面积且是导电的；且(g)冷却至室温且回收步骤(e)中所产制之涂有高表面积氮化物之基板。