[发明专利]利用电子束的“结构化”能量传输方法

摘要

本发明是一种利用电子束的“结构化”能量传输方法，已知有多种方法利用电子束处理材料或改变其性质。迄今无法将微小的表面区域图元在该表面上进行某种排列以达成某些效果。根据本发明，所要加工的物体在一光罩下移动，二者不相接触，可作二维空间偏转的电子束(它以高频率垂直于物体运动方向振动)在光罩上移动，其速度比物体运动速度快得多。此方法可用于加工任何材料，特别是平坦或具有一定形状的物体，以利用物理或化学反应达到加工效果。

主权项

1.一种利用电子束的“结构化”能量传输方法，利用可聚焦且可作二维空间X，Y方向偏转的电子束，将能量传输到物体上，其特征在于：该物体在一光罩下方移动，与光罩不接触，该电子束沿物体运动方向X以高频振动，并大致垂直于物体运动方向在该光罩中的凹洞范围偏转导进，该电子束垂直于物体运动方向沿光罩范围偏转导进的速度比起物体运动速度高得多。