[发明专利]光投影系统中的薄膜致动镜象阵列及其制造方法无效
| 申请号： | 97182015.5 | 申请日： | 1997-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN1265251A | 公开（公告）日： | 2000-08-30 |
| 发明（设计）人： | 闵庸基;崔允准 | 申请（专利权）人： | 大宇电子株式会社 |
| 主分类号： | H04N9/31 | 分类号： | H04N9/31;G02B26/08 |
| 代理公司： | 柳沈知识产权律师事务所 | 代理人： | 陶凤波 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 薄膜AMA具有基底,致动器,公共线,和反射元件(180)基底具有电引线和连接端子,致动器具有支撑层(130)。底电极(135),顶电极(145,和有源层(140)。公共线(150)形成于致动器的一部分上并连接到顶电极(145)。因为致动器形成于基底的一部分上,与形成电引线和连接端子的部分相邻,因此电引线和连接端子不会被损坏。由于公共线(150)厚厚地形成于致动器的一部分上,第二信号的压降最小,因此有足够的第二信号提供到顶电极(145)。因为反射元件(180)形成于第二牺牲层上,可提高反射元件(180)的平整度。 | ||
| 搜索关键词： | 投影 系统 中的 薄膜 致动镜象 阵列 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光投影系统中的薄膜致动镜象阵列，该光投影系统由第一信号和第二信号驱动，所述薄膜致动镜象阵列包括：一基底，它具有电引线和连接端子，用于从外部接收第一信号并传送第一信号；一致动器，包括：支撑层，形成于所述基底上；底电极，用于接收第一信号，所述底电极形成于所述支撑层上；对应于所述底电极的顶电极，用于接收第二信号并在所述顶电极和所述底电极之间产生电场；和有源层，形成于所述顶电极和所述底电极之间，并被电场变形；公共线，用于将第二信号提供到所述顶电极，所述公共线形成于所述致动器的一部分上，并被连接到所述顶电极；和反射元件，用于反射光，所述反射元件形成于所述顶电极上。
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